● 產品簡介

1. 4套視覺裝置來實現：自動聚焦、自動調心、在線測量、全閉環加工；

    Four sets Vision Systems to realize auto-focus、auto-centering、on-line measuring、closed-loop process;

2.  SPC統計過程控制；

    SPC（Statistical Process Control）;

3. Lookup Table查表算法；

    Lookup table algorithm; 

4. CD-Hole擴孔能力：2~50微米；

    CD-Hole Polish Capacity: 2~50um; 

5. 擴孔精度：±1.27微米（標準）；

                           ±0.6微米（高端）；

   Tolerance: ±1.27um（Standard）,

                    ±0.6um（High-End）;

6. 加工周期：60~200秒；國際領先；

    Cycle time: 65~200s; World leading;

● 產品圖片